1、招标条件
项目概况:实现MEMS智能传感器开发中环境与生化检测需求，完成大量微纳尺度硅基材料与介质薄膜的高精度刻蚀加工任务。
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目名称:华东理工大学化学机械抛光机采购项目
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	化学机械抛光机	1套	1. 上电动驱动a) 垂直定位加载电动驱动,最大垂直行程≥100mm,定位分辨率≤0.5um,速度范围满足：0.001-10mm/sb) 水平定位移动电动驱动,最大水平行程≥75mm,定位分辨率≤2um,速度范围满足：0.001-10mm/sc) 上旋转驱动,转速区间满足：1-500RPM,最大负载≥40kg,中程扭矩	/

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）投标人或制造商（如适用）有效的营业执照
2）本次招标所涉及到的产品若非自主研发生产，投标人须提供制造商针对本项目的授权书
3）参加本次招标活动前3年内，投标人在经营活动中没有违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无行贿犯罪记录；
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2025-07-08
招标文件领购结束时间:2025-07-15
……招标文件售价:￥600/$80

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联系人：王哲
电话：010-68809365
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