序号

货物名称

数量

简要技术规格

备注

1

平插式能谱仪

1台

1.探测器：平插式硅漂移（SDD）电制冷探测器。安装在电镜极靴与样品之间，能够获得大于1sr的固体角和至少60°的检出角，配置三档不同厚度的特殊聚合物窗口，可吸收0-20Kev范围内不同加速电压下的背散射电子；可单独实现元素的定性和定量；

2.能量分辨率：在130,000CPS条件下Mn Ka保证≤129eV，轻元素分辨率：C-K≤57eV, F-K≤67eV；

3.元素分析范围: Be4～Cf98；

4.能谱仪处理单元与计算机采用分立式设计，探测器可处理最大计数率优于3,200,000 cps。

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2

能谱仪

2台

1、探测器：硅漂移（SDD）电制冷探测器，采用场效应管（FET）一体化集成设计的高速SDD芯片，有效面积≥100mm2，超薄窗设计，独立真空；采用纤细化等技术提高固体角，改善系统分析效率；

2、能量分辨率：在130,000CPS条件下Mn-Ka保证≤129eV，轻元素分辨率C-K≤57eV, F-K≤67eV；

3、元素分析范围: Be4～Cf98；

4、谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，48小时内峰位漂移小于1.5eV；

5、处理单元与计算机采用分立式设计，系统最大输出计数率≥600kcps。

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3

背散射电子衍射仪

1台

1. 直接电子探测EBSD技术：采集速度和空间分辨率兼得，最快采集速度大于14,000点/秒@10 kV，在获得高分辨EBSD结果的同时保证速度。空间分辨率优于30nm（以金属样品验收）；

2 适合低电压分析电子束敏感材料：可实现采集标定速度大于12,000点/秒@5kV且大于1,000点/秒@3kV（以Ni样品验收）；

3.原位EBSD探测器倾斜角度调节：可在原位进行竖直方向+/-4.5度角调整。

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