项目名称：润芯感知科技（南昌）有限公司   标段名称：离子注入机采购1台   招标内容和范围：为拓展MEMS产品线，达成商业计划的需要，新购1台离子注入设备，主要用于 B、P、As、BF2 等元素注入， 剂量范围在 5E11-1E16 ions/cm2 之间，能量 5-180keV。产品尺寸为150mm，圆片厚度为400~800um（采用standard disk），设备需具备升级8寸的能力。   交货期/工期：中标供应商应在合同签订后150个自然日内将设备交付到我司工厂。   注：详细内容见招标文件，以招标文件为准。
二、投标人资格能力要求  
 1.资格要求：需要完全响应我司设备发包规范，且提供设备主要部位照片（含有铭牌照片）
  2.业绩要求：2020年1月1日起到截标日止，在半导体前道晶圆制造工厂有1台及以上AXCELIS GSD 系列设备整机销售业绩
  3.联合体投标： 不允许
  4.代理商投标：允许
  5.信誉要求：不属于在国家公共信用信息中心“信用中国”网列入失信惩戒名单
  6.其他要求：提供会计事务所出具的完整的企业2023或2024年度审计报告（没有年度审计报告须提供财务报表盖章，财务报表含利润表、资产负债表、现金流表（未提供资产负债表为废标，未提供年度审计报告的不接受预付款），在经营活动中没有对本招标项目履行有重大影响的违法记录及质量问题，在最近三年内没有严重违约，在最近三年内与华润微电子有限公司及其下属公司无不良合作记录或未在禁用期内的企业。在“企查查”中查询无招标人近三年离职员工担任股东或高管。   备注：
三、招标文件的获取
  （一）获取时间     2025年06月13日- 2025年06月20日  

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