进行国内公开招标。2.项目概况与招标范围********招标编号：ZKX****************招标项目名称：深紫外光学元件超净无损清洁设备。********数量：1套。********项目简介：该项目包含1套预清洗模块，1套全自动清洗干燥模块，1套超纯水系统以及配套工装治具等构成。该清洗机主要由封闭式机架、清洗槽、超声波、兆声波、紫外臭氧、自动搬运机械手..
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