目概况与招标范围********招标编号：ZKX****************招标项目名称：12英寸非接触式光刻机。********数量：1套。********核心技术指标：********曝光光源：汞灯（i线）********最大光刻面积：≥8英寸********分辨率：优于********μm(正性光刻胶厚度1um)********套刻精度：优于±350nm@8英寸********曝光时间：≤120s@300mj（8英寸全片超过********亿个多边形结构）********掩.
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