标范围：氮气纯化器2套（TFE段为1套，蒸镀与测试为1套） 招标编号：0730-254********3-20包名称：氮气纯化器数量：2套（TFE段1套，蒸镀与测试1套）简要技术要求：（1）本设备主要用于AMOLED制程中，它可以过滤掉设备氮气环境中的pO和O2，使pO、O2以及有机溶剂含量均能达到1PPM以下；（2）Downtime要求：ATM至小于1ppmTotal≤2小..
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