概况与招标范围********招标编号：ZKX****************招标项目名称：中束流离子注入机。********数量：1台。********主要功能要求：本次购买的中束流离子注入机用于晶圆掺杂工艺。其原理是通过先将所需杂质电离，然后由电场引出，再通过磁场筛选，形成一个集中的离子束，最终注入到硅片中，达到掺杂目的。中束流离子注入机由气源柜、离子源.
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