系统具有至少1x10^-7托的基压和样品负载锁，可产生高纯度和极佳均匀性的薄膜，能够精确控制薄膜厚度，这对于多层涂料和纳米技术应用至关重要。采购数量：1台质量要求：1.不锈钢真空腔室和真空锁。2.可处理最大直径达150毫米的晶圆，且能够同时处理五（5）片75毫米的晶圆或三（3）片100毫米的晶圆。3.配有挡板的四至六个独.
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