（如金、银、铝）或非金属薄膜。支持多种蒸发材料（包括高熔点材料）。采购数量：1台质量要求：1.不锈钢真空腔室和真空锁。2.可处理最大直径达150毫米的晶圆，且能够同时处理五（5）片75毫米的晶圆或三（3）片100毫米的晶圆。3.配有挡板的四至六个独立的沉积源。4.样品基板冷却功能。5.样品晶圆真空锁。6.无油抽气系统；..
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