购品目：A********真空应用设备采购需求概况：主要功能：主要用于压电铁电功能化薄膜的制备：1)高精度成分与结构控制：通过不同靶材选择精确调控薄膜成分，调节溅射参数来优化晶体结构；2）低温沉积与异质外延生长：可以实现在低温下沉积高质量薄膜，兼容柔性衬底，同时可以在单晶衬底上实现晶格匹配，降低界面缺陷，提.
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