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超高真空物理气相沉积系统招标公告

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目:A-货物_A********-设备_A********-机械设备_A********-真空获得及应用设备_A********-真空应用设备采购需求概况:在超高真空条件下,利用高速运动的氩离子轰击靶材,形成靶材成分的等离子体并沉积到靶材上方的衬底上,并进行原位真空退火等操作,完成超高真空镀膜。基础真空
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